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等離子清洗機 鄭州 科探

產品簡介

等離子清洗機 鄭州 科探KT-S2DQX由于等離子體中的電子、離子和自由基等活性粒子的存在,其本身很容易與固體表面發(fā)生反應。等離子體清洗主要是依靠等離子體中活性粒子的“活化作用"達到去除物體表面污漬的目的。

產品型號:KT-S2DQX
更新時間:2024-03-29
廠商性質:生產廠家
訪問量:1457
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品牌鄭科探產地類別國產
應用領域化工,電子

等離子體清洗的機理:

1、什么是等離子體

等離子體是物質的一種存在狀態(tài),通常物質以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)3種狀態(tài)存在,但在一些特殊的情況下可以以第四種狀態(tài)存在,如太陽表面的物質和地球大氣中電離層中的物質。這類物質所處的狀態(tài)稱為等離子體狀態(tài),又稱為物質的第四態(tài)。

等離子體中存在下列物質:處于高速運動狀態(tài)的電子;處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團(自由基);離子化的原子、分子;分子解離反應過程中生成的紫外線;未反應的分子、原子等,但物質在總體上仍保持電中性狀態(tài)。


2、等離子體清洗的機理

由于等離子體中的電子、離子和自由基等活性粒子的存在,其本身很容易與固體表面發(fā)生反應。等離子體清洗主要是依靠等離子體中活性粒子的“活化作用"達到去除物體表面污漬的目的。

就反應機理來看,等離子體清洗通常包括以下過程:無機氣體被激發(fā)為等離子態(tài);氣相物質被吸附在固體表面;被吸附基團與固體表面分子反應生成產物分子;產物分子解析形成氣相;反應殘余物脫離表面。

等離子清洗機 鄭州 科探KT-S2DQX

小型等離子清洗機具有成本低廉、操作靈活的特點, 與動輒十幾萬美元的大型產品相比小型等離子清潔小型機具有以下優(yōu)點:

1、可以更靈活地操作,簡便地改變處理氣體的種類和處理程序。

2、不會對人員的身體造成任何傷害。

3、其成本對于等離子處理方法來說是微不足道的。

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等離子清洗機 鄭州 科探KT-S2DQX參數(shù)

供電電源

AC220V(AC110V可選)

工作電流

整機工作電流不大于3.5A(不含真空泵)

射頻電源功率

150W

射頻頻率

13.56MHz

頻率偏移量

<0.2MHz

特性阻抗

50歐姆,手動匹配

耦合方式

電容耦合

真空度

≤100Pa

腔體材質

高純石英

腔體容積

2L(內徑110MMX深度220MM)

觀察窗內徑

Φ65

氣體流量

10—100ml/min(其他量程可選)

過程控制

過程手動控制

清洗時間

手動開關

開蓋方式

鉸鏈側開式法蘭

外形尺寸

400x380x360mm

重量

23Kg

真空室溫度

小于65°C

冷卻方式

強制風冷

標配

KF16真空管1米,kf16卡箍2個,不銹鋼網匣1個,電源線一根,說明書一本。


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